高纯硅分析光谱仪电感反馈式自激振荡电路，全自动点火，全自动化控制，所有功能实现电脑设置(点火、熄火、功率等参数设置)；实时功率控制；自动匹配调谐；光室恒温；自动峰位校正；蠕动泵进样，泵速连续可调；针对不同样品有多种进样系统可以选择(普通进样系统、耐高盐进样系统、耐氢氟酸进样系统)；防紫外线辐射、防高频辐射观察玻璃，使操作更安全。 (1)光路:Czerny-Turner。
(2)焦距:1000mm。
(3)光栅规格：离子刻蚀全息光栅，刻线密度3600线/mm。
刻线面积:80×110mm，线色散率倒数：0.26nm。
(4)波长范围：190-500nm。
(5)分辨率:≤0.008nm。
(6)扫描波长范围3600线/mm扫描波长范围：190-500nm。
(7)步进电机驱动zui小步距：0.0005nm。
(8)入射狭缝：20?m出射狭缝：25?m。
(9)发射镜规格：（78×105×16）mm。
(10)透镜ф30，1：1成像。
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